世界初、HVPE法で6インチウエハ上への酸化ガリウム成膜に成功 ―パワーデバイスの低コスト化と次世代EVの省エネ化に貢献―
世界初、HVPE法で6インチウエハ上への酸化ガリウム成膜に成功
―パワーデバイスの低コスト化と次世代EVの省エネ化に貢献―
大陽日酸株式会社（社長 永田 研二）は、国立大学法人 新万博体育_万博体育官网-【官方授权牌照】、ならびに株式会社ノベルクリスタルテクノロジーと共同で、HVPE法による6インチウエハ上の酸化ガリウム成膜に世界で初めて成功しましたのでお知らせいたします。
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