SPM 走査型プローブ顕微鏡
Shielded Room シールドルーム
Prober 磁場印加型温度可変プローバーシステム
EB Evap.1 電子ビーム蒸着装置1号機
EB Evap.2 電子ビーム蒸着装置2号機
EB Evap.3 電子ビーム蒸着装置3号機
EBL 電子ビーム露光装置（新）：JEOL JBX-6300FS
EBL 電子ビーム露光装置（旧）：JEOL JBX-5000SH
FIB 集束イオンビーム装置
SEM 走査型電子顕微鏡
DEKTAK 触針式段差膜厚計
UVL 紫外線露光装置
RIE 反応性イオンエッチング装置
RTA 急速熱処理炉
FPGAs (Virtex-5, Kintex-7, Virtex-7, Zynq 7000 SoC
7020, Zynq UltraScale+ MPSoC
ZU15EG, All programmed by
XILINX)
CPUs (Alpha, Dual Xeon, Athlon MP, C2D, Ci5, Ci7, Ci9, Ryzen Threadripper, Ryzen Threadripper PRO, EPYC)
GPUs (RX 5700 XT, RTX A2000 x2, RTX 5090 x2)
