SPM 走査型プローブ顕微鏡
Shielded Room シールドルーム
Prober 磁場印加型温度可変プローバーシステム
EB Evap.1 電子ビーム蒸着装置1号機
EB Evap.2 電子ビーム蒸着装置2号機
EB Evap.3 電子ビーム蒸着装置3号機
EBL 電子ビーム露光装置（新）：JEOL JBX-6300FS
EBL 電子ビーム露光装置（旧）：JEOL JBX-5000SH
FIB 集束イオンビーム装置
SEM 走査型電子顕微鏡
DEKTAK 触針式段差膜厚計
UVL 紫外線露光装置
RIE 反応性イオンエッチング装置
RTA 急速熱処理炉
FPGAs (Virtex-5, Kintex-7, Virtex-7, Zynq 7000 SoC
7020, Zynq UltraScale+ MPSoC
ZU15EG, All programmed by
XILINX)
PCs 各種計算機 (Alpha, Dual Xeon, Athlon MP, C2D, Ci5, Ci7, Ci9, Ryzen Threadripper, Ryzen Threadripper PRO, EPYC)
